Thermomechanische Untersuchungen zur Zuverlässigkeitserhöhung von Mikrosystemen

Internal ID	42
Author(s)	Michel, B.; Faust, W.; Auersperg, J.
Where published?	Fachtagung Informations- und Mikrosystemtechnik, Magdeburg
Year	1998
Page(s)	16 – 23