Charakterisierung von Werkstoffverbundunden für neue Einsatzmöglichkeiten im Bereich der Mikrosystemtechnik

Internal ID	34
Author(s)	Michel, B.; Schubert, A.; Winkler, T.; Reichl, H.
Where published?	Proc. Werkstoffwoche '96, Neue Werkstoffkonzepte (Symp. 9)
Year	1996
Page(s)	233 - 239