Das MicroDAC-Verfahren - eine Methode zur quantitativen Verformungsbewertung von Mikrokomponenten im Rasterelektronenmikroskop

Internal ID	24
Author(s)	Michel, B.; Kühnert, R.
Where published?	Proc. 2. Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik - Mikromechanik und Mikroelektronik, Chemnitz
Year	1995
Page(s)	31 - 35