Prüfen des Verformungsverhaltens mikromechanischer Bauelemente mittels Lasermeßtechniken

Internal ID	9
Author(s)	Michel, B.; Großer, V.
Where published?	Proc. Tagung Werkstoffprüfung 1992 des Dt. Verbandes f. Materialforschung und prüfung e.V., Bad Nauheim
Year	1992
Page(s)	251 - 260