Quantitative Mikrodeformationsanalyse an mikrotechnischen Aufbauten mittels MicroDAC-Verfahren und Mikro-Moiré-Methode

Internal ID	26
Author(s)	Michel, V.; Villain, J.; Kühnert, R.
Where published?	Abstract: Tagung Micro Materials '95, Berlin
Year	1995
Page(s)	33