Werkstoffmechanische Untersuchungen von Komponenten der Mikrosystemtechnik

Internal ID	39
Author(s)	Michel, B.; Winkler, T.; Reichl, H.
Where published?	Proc. 11. Intern. Mittweidaer Fachtagung "Qualitäts- und Informationsmanagement", HTW Mittweida
Year	1994
Page(s)	EC01-EC11