Zum Einsatz neuer Verfahren zur Rissbewertung und Rissfortschrittsuntersuchung in Mikroelektronik, Mikro- und Nanotechnologien, invited Plenary lecture

Internal ID	210
Author(s)	Auersperg, J.; Michel, B.
Event	Internat. Conf. Micro Car 2013
Location	Leipzig
Date	25.02.2013
End date	26.02.2013