Prüfung und Zuverlässigkeitsbewertung für die Mikrosystemtechnik im Mikro- und Nanobereich

Internal ID	111
Author(s)	Michel, J., Keller., J.
Event	Invited Lecture,23. Tagung Werkstoffprüfung, Deutscher Verband für Werkstofforschung u. -prüfung
Location	Berlin
Date	01.12.2005
End date	02.12.2005