Zuverlässigkeitskonzepte von 'Mikro bis Nano'- Neue Anforderungen und Möglichkeiten der Zuverlässigkeitsbewertung für die Mikrosystemtechnik

Internal ID	113
Author(s)	Michel,B.
Event	Invited Lecture, VDE-Kongress Mikrosystemtechnik 2005
Location	Freiburg
Date	10.10.2005
End date	12.10.2005