Zuverlässigkeit von komponenten der Mikrosystemtechnik durch die Einbeziehung von Nanoanalytik und Nanomechanik

Internal ID	94
Author(s)	Michel,B., Wunderle,B., Gollhardt,A., Bombach,C., Keller,J.
Event	Tagung Mikromechanik und Mikroelektronik
Location	Chemnitz
Date	26.10.2005
End date	27.10.2005