Kombination von Verformungsmesstechniken und Zuverlässigkeitsanalyse für Anwendungen in der Mikro- und Nanoelektronik

Internal ID	164
Author(s)	Michel, B.; Kaulfersch, E.
Event	Silicon-Saxony Tag,
Location	Dresden
Date	18.03.2008
End date	19.03.2008