Werkstoffe der Mikroelektronik- Qualitätssicherung und Zuverlässigkeitsbewertung im Mikro-Nano-Übergangsbereich

Internal ID	129
Author(s)	Michel,B.
Event	Workshop Materialien der Mikroelektronik, Silicon Saxony,
Location	Dresden
Date	16.06.2006
End date	16.06.2006