Zuverlässigkeitsbewertung von MEMS-Komponenten im Mikro.Nano-Übergangsbereich

Internal ID	64
Author(s)	Michel,B., Winkler,T., Auersperg,J.
Event	Tagung Mikrosystemtechnik der TU Chemnitz,Proc.p.18-20
Location	Lichtenwalde
Date	15.11.2003
End date	15.11.2003