Zuverlässigkeitsfragen von der Mikrosystemtechnik bis zur Nanotechnologie

Internal ID	121
Author(s)	Michel,B.
Event	HTW Zwickau, Fachtagung Oberflächentechnologien und Mikrosysteme(IFOM) 2006
Location	Zwickau
Date	05.09.2006
End date	05.09.2006