Mikrodeformationsanalyse zur Zuverlässigkeitsbewertung mittels Grauwertkorrelationmethoden microDAC und nanodac im REM bzw. AFM

Internal ID 2
Author(s) Michel, B.; Vogel, D.
Event 19. Disskusionssitzung 'Fehlermechanismen bei kleinen Geometrien'
Location Bad Bayersoien
Date 22.05.2001
End date 23.05.2001