Zuverlässigkeitsbewertung von MEMS-Komponenten im Mikro.Nano-Übergangsbereich

Internal ID 64
Author(s) Michel,B., Winkler,T., Auersperg,J.
Event Tagung Mikrosystemtechnik der TU Chemnitz,Proc.p.18-20
Location Lichtenwalde
Date 15.11.2003
End date 15.11.2003