Microreliability, Nanoreliability- Reliability Issues for MEMS

Interne ID	55
Autor(en)	Michel,B,
Wo veröffentlicht?	in: H.Knobloch and Y. Kaminorz (Eds.): MicroNano Integration, Springer Verlag, Heidelberg, Berlin, New York
Jahr	2003
Seite(n)	269-275