Zur Anwendbarkeit festkörpermechanischer Modelle im Bereich der Mikroelektronik

Interne ID	13
Autor(en)	Michel, B.; Winkler, T.
Wo veröffentlicht?	Proceedings, Wiss. Jahrestagung der Gesellschaft für Angewandte Mathematik und Mechanik Dresden
Jahr	1993
Seite(n)	27