Thermomechanische Untersuchungen zur Zuverlässigkeitserhöhung von Mikrosystemen

Interne ID	42
Autor(en)	Michel, B.; Faust, W.; Auersperg, J.
Wo veröffentlicht?	Fachtagung Informations- und Mikrosystemtechnik, Magdeburg
Jahr	1998
Seite(n)	16 – 23