Charakterisierung von Werkstoffverbundunden für neue Einsatzmöglichkeiten im Bereich der Mikrosystemtechnik

Interne ID	34
Autor(en)	Michel, B.; Schubert, A.; Winkler, T.; Reichl, H.
Wo veröffentlicht?	Proc. Werkstoffwoche '96, Neue Werkstoffkonzepte (Symp. 9)
Jahr	1996
Seite(n)	233 - 239