Charakterisierung von Werkstoffverbunden für neue Einsatzmöglichkeiten im Bereich der Mikrosystemtechnik

Interne ID	40
Autor(en)	Michel, B.; Schubert, A.; Reichl, H.
Wo veröffentlicht?	Proc. Werkstoffwoche '96
Jahr	1996
Seite(n)	-