Das MicroDAC-Verfahren - eine Methode zur quantitativen Verformungsbewertung von Mikrokomponenten im Rasterelektronenmikroskop

Interne ID	24
Autor(en)	Michel, B.; Kühnert, R.
Wo veröffentlicht?	Proc. 2. Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik - Mikromechanik und Mikroelektronik, Chemnitz
Jahr	1995
Seite(n)	31 - 35