Quantitative Mikrodeformationsanalyse an mikrotechnischen Aufbauten mittels MicroDAC-Verfahren und Mikro-Moiré-Methode

Interne ID	26
Autor(en)	Michel, V.; Villain, J.; Kühnert, R.
Wo veröffentlicht?	Abstract: Tagung Micro Materials '95, Berlin
Jahr	1995
Seite(n)	33