Prüfen des Verformungsverhaltens mikromechanischer Bauelemente mittels Lasermeßtechniken

Interne ID	9
Autor(en)	Michel, B.; Großer, V.
Wo veröffentlicht?	Proc. Tagung Werkstoffprüfung 1992 des Dt. Verbandes f. Materialforschung und prüfung e.V., Bad Nauheim
Jahr	1992
Seite(n)	251 - 260