Evaluation microdefected structures by AFM-based deformation measurement

Interne ID	59
Autor(en)	Vogel,D., Keller,J., Gollhardt,A., Michel,B.
Wo veröffentlicht?	Proc. SPIE, vol. 5045, ed. N.Meyendorf, G.Y. Baaklini, and B.Michel, San Diego
Jahr	2003
Seite(n)	1-12