Microcrack Evaluation for Electronic Components by AFM nanoDAC Deformation Measurement

Interne ID	62
Autor(en)	Vogel,D., Michel,B.
Wo veröffentlicht?	Proc. 1st. IEEE Conference on Nanotechnology, NANO 2001, Maui,Hawaii, USA,
Jahr	2001
Seite(n)	309-312