Application of Fracture Mechanics to Micromechanics and Microsystem Technology

Interne ID	18
Autor(en)	Michel, B.; Sommer, J.-P.; Großer, V.
Wo veröffentlicht?	Advances in Fracture Research and Structural Integrity, ed. V.V. Panasyuk et. al.; Pergamon Press
Jahr	1994
Seite(n)	683 - 690