Das MicroDAC-Verfahren - eine Methode zur quantitativen Verformungsbewertung von Mikrokomponenten im Rasterelektronenmikroskop

Interne ID 24
Autor(en) Michel, B.; Kühnert, R.
Wo veröffentlicht? Proc. 2. Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik - Mikromechanik und Mikroelektronik, Chemnitz
Jahr 1995
Seite(n) 31 - 35