Quantitative Mikrodeformationsanalyse an mikrotechnischen Aufbauten mittels MicroDAC-Verfahren und Mikro-Moiré-Methode

Interne ID 26
Autor(en) Michel, V.; Villain, J.; Kühnert, R.
Wo veröffentlicht? Abstract: Tagung Micro Materials '95, Berlin
Jahr 1995
Seite(n) 33