Prüfen des Verformungsverhaltens mikromechanischer Bauelemente mittels Lasermeßtechniken

Interne ID 9
Autor(en) Michel, B.; Großer, V.
Wo veröffentlicht? Proc. Tagung Werkstoffprüfung 1992 des Dt. Verbandes f. Materialforschung und prüfung e.V., Bad Nauheim
Jahr 1992
Seite(n) 251 - 260