Stress Measurement in Thin Multilayer Systems by Stress Relief

Interne ID	211
Autor(en)	Vogel,D.; Auerswald, E.; Rzepka, S.; Michel, B.
Veranstaltung	Internat. Conf. Micro Car 2013
Ort	Leipzig
Datum	25.02.2013
Enddatum	26.02.2013