Verbindung von Werkstoffprüfung und Simulation von Mikrosystemen

Interne ID	40
Autor(en)	Michel, B.
Veranstaltung	Euroforum Konferenz 'Materialprüfung in der Mikrosystemtechnik'
Ort	Düsseldorf, Germany
Datum	29.10.1996
Enddatum	30.10.1996