Mikrodeformationsanalyse zur Zuverlässigkeitsbewertung mittels Grauwertkorrelationmethoden microDAC und nanodac im REM bzw. AFM

Interne ID	2
Autor(en)	Michel, B.; Vogel, D.
Veranstaltung	19. Disskusionssitzung 'Fehlermechanismen bei kleinen Geometrien'
Ort	Bad Bayersoien
Datum	22.05.2001
Enddatum	23.05.2001