Zuverlässigkeit von komponenten der Mikrosystemtechnik durch die Einbeziehung von Nanoanalytik und Nanomechanik

Interne ID	94
Autor(en)	Michel,B., Wunderle,B., Gollhardt,A., Bombach,C., Keller,J.
Veranstaltung	Tagung Mikromechanik und Mikroelektronik
Ort	Chemnitz
Datum	26.10.2005
Enddatum	27.10.2005