Kombination von Verformungsmesstechniken und Zuverlässigkeitsanalyse für Anwendungen in der Mikro- und Nanoelektronik

Interne ID	164
Autor(en)	Michel, B.; Kaulfersch, E.
Veranstaltung	Silicon-Saxony Tag,
Ort	Dresden
Datum	18.03.2008
Enddatum	19.03.2008