Werkstoffe der Mikroelektronik- Qualitätssicherung und Zuverlässigkeitsbewertung im Mikro-Nano-Übergangsbereich

Interne ID	129
Autor(en)	Michel,B.
Veranstaltung	Workshop Materialien der Mikroelektronik, Silicon Saxony,
Ort	Dresden
Datum	16.06.2006
Enddatum	16.06.2006