Mikrodeformationsanalyse mit dem nanoDAC-Verfahren

Interne ID	3
Autor(en)	Michel, B.
Veranstaltung	DVM-AK 'Mechanische Werlstoffcharakterisierung in der Mikrosystemtechnik'
Ort	Berlin, Germany
Datum	09.10.2002
Enddatum	10.10.2002