Zuverlässigkeitsbewertung von MEMS-Komponenten im Mikro.Nano-Übergangsbereich

Interne ID	64
Autor(en)	Michel,B., Winkler,T., Auersperg,J.
Veranstaltung	Tagung Mikrosystemtechnik der TU Chemnitz,Proc.p.18-20
Ort	Lichtenwalde
Datum	15.11.2003
Enddatum	15.11.2003