Prüfung und Zuverlässigkeitsbewertung für die Mikrosystemtechnik im Mikro- und Nanobereich

Interne ID	111
Autor(en)	Michel, J., Keller., J.
Veranstaltung	Invited Lecture,23. Tagung Werkstoffprüfung, Deutscher Verband für Werkstofforschung u. -prüfung
Ort	Berlin
Datum	01.12.2005
Enddatum	02.12.2005