Zuverlässigkeitsbewertung von MEMS-Komponenten im Mikro.Nano-Übergangsbereich
Interne ID
64
Autor(en)
Michel,B., Winkler,T., Auersperg,J.
Veranstaltung
Tagung Mikrosystemtechnik der TU Chemnitz,Proc.p.18-20
Ort
Lichtenwalde
Datum
15.11.2003
Enddatum
15.11.2003